半導体製造用スーパークリーンルームのガス汚染物質対策(建築分野における特許(7),技術ノート)

巻　号：1497
ページ：38
年月次：2002-12

著者名

• 今福 正幸

  大成建設知的財産部特許室

• 若山 恵英

  大成建設技術センター建築技術研究所

収録刊行物

[ 建築雑誌 ] [ 建築雑誌 ] [ 建築雑誌 ]